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MKS是全球最著名的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、平板顯示器、太陽能電池、LED、光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。MKS前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)，推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)領(lǐng)先地位。深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司專門經(jīng)銷美國和歐洲等國家的工業(yè)產(chǎn)品，經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品類別和品牌多樣齊全，方便用戶可以一站式采購。特別的那些不好尋找的歐美工業(yè)產(chǎn)品備件。公司多年來不斷積累拓展和優(yōu)化供應(yīng)渠道，與品牌供應(yīng)商建立了良好的合作關(guān)系，所以拿到的價(jià)格也非常優(yōu)勢(shì)。以下是我們?yōu)槟榻B的《美國MKS真空計(jì)_MKS真空計(jì)901P-11030》相關(guān)信息。
1、美國MKS真空計(jì)概述
美國MKS真空計(jì)901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock真空傳感器結(jié)合了Piezo和MicroPirani™傳感器技術(shù)，與傳統(tǒng)熱導(dǎo)計(jì)相比，精度、穩(wěn)定性、可重復(fù)性和響應(yīng)時(shí)間顯著提高。它具有0.00001-1000 Torr壓力測(cè)量范圍、大氣切換功能以及尺寸為NW16 ISO-KF的法蘭。它使用RS232數(shù)字通信接口來設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。901P專為真空負(fù)載鎖內(nèi)的壓力測(cè)量而設(shè)計(jì)。它具有從大氣到10-5 Torr的絕對(duì)壓力測(cè)量和大氣切換功能，能夠取代負(fù)載鎖上的多個(gè)壓力測(cè)量設(shè)備。與傳統(tǒng)負(fù)載室設(shè)計(jì)中使用的壓力表相比，901P精確的大氣壓力測(cè)量可以通過更快的循環(huán)時(shí)間來提高負(fù)載室性能，并防止負(fù)載室受到大氣污染。
2、美國MKS真空計(jì)功能
美國MKS真空計(jì)901P結(jié)合了絕壓和差壓測(cè)量技術(shù)，提供卓越的性能和功能。901P提供獲得專利的、獨(dú)立于氣體的絕對(duì)壓力測(cè)量（50-1000 Torr），并且比熱導(dǎo)率傳感器具有更高的精度。與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計(jì)不同，MicroPirani™中的傳感器元件由一毫米見方的硅芯片制成，允許在非常小的體積內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。由于采用了MicroPirani™技術(shù)，901P可以讀取低至10-5 Torr的壓力，比標(biāo)準(zhǔn)皮拉尼傳感器低二十個(gè)百分點(diǎn)。傳感器設(shè)計(jì)最大限度地減少了對(duì)流的影響，因此901P可以以任何方向安裝，而不會(huì)影響精度。
3、美國MKS真空計(jì)原理
美國MKS真空計(jì)901P還具有1VDC/十倍頻的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設(shè)備以進(jìn)行壓力讀數(shù)或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數(shù)字用戶界面選擇。輔助可選模擬輸出用于提供壓差測(cè)量。901P具有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，可用于過程控制，例如聯(lián)鎖隔離閥和真空泵。每個(gè)設(shè)定點(diǎn)均可分配給差分壓電測(cè)量或組合絕對(duì)MicroPirani™/壓電測(cè)量。901P緊湊的設(shè)計(jì)顯著減少了真空計(jì)占用的空間。
4、美國MKS真空計(jì)規(guī)格
①絕對(duì)測(cè)量范圍：1.0 x 10-5至1500托
②差分測(cè)量范圍：-760至+760托
③數(shù)字通訊：RS232
④類型：真空傳感器
⑤密封材料：氟橡膠
⑥美國MKS真空計(jì)外殼：標(biāo)準(zhǔn)
⑦電氣連接器：15針、高密度、D-sub公頭
⑧美國MKS真空計(jì)界面：RS232/模擬
⑨配件類型：NW16 ISO-KF
⑩美國MKS真空計(jì)安裝方向：任何
5、美國MKS真空計(jì)技術(shù)參數(shù)
①美國MKS真空計(jì)模擬輸出：1-9 VDC
②美國MKS真空計(jì)模擬輸出分辨率：16位
③可選模擬輸出：25 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍頻程
④繼電器觸點(diǎn)額定值：1 A 30VAC/DC，電阻式
⑤美國MKS真空計(jì)繼電器響應(yīng)最長(zhǎng)：100毫秒
⑥電源要求：9-30 VDC，最大<1.2瓦
⑦壓電微分重復(fù)性：-760至10 Torr±1%讀數(shù)
⑧壓電差動(dòng)零穩(wěn)定性：滿量程的±0.1%（滿量程=760 Torr）
⑨超壓限制：1500托（絕對(duì)）
⑩暴露的材料：硅、SiO2、Si3N4、金、低釋氣環(huán)氧樹脂、304不銹鋼、Viton
?電子外殼及法蘭：304不銹鋼
?美國MKS真空計(jì)模擬輸出2分辨率：12位
?數(shù)字波特率：4800-230400波特率
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